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[請(qǐng)教]取樣器的清洗?多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中三氯氫硅和四氯化硅取樣分析后，對(duì)取樣器的清洗非常麻煩。

發(fā)布時(shí)間:2025-02-14 01:25:03瀏覽數(shù):

[請(qǐng)教]取樣器的清洗?多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中三氯氫硅和四氯化硅取樣分析后，對(duì)取樣器的清洗非常麻煩。
依次用氮?dú)?、水?0%的氫氧化鈉、水、高純水、高純氮?dú)馇逑创祾摺?BR>也可以設(shè)計(jì)一個(gè)清洗吹掃裝置。
一般都是遙遙密閉的取樣器，較不要拿水清洗，如果有殘余的硅烷的話(huà)會(huì)劇烈反應(yīng)的?？梢韵扔玫?dú)獯祾?，然后用?fù)壓裝置吹掃，然后就是直接密閉起來(lái)！取樣瓶都限定遙遙的，放樣完就可以密封起來(lái)。
以上只是限于一般生產(chǎn)的取樣器產(chǎn)品，遙遙取樣器的技術(shù)都很成熟，技術(shù)水平也相對(duì)的提高，對(duì)于取樣器的生產(chǎn)，都相接遙遙取樣完畢直接自動(dòng)吹掃，根本不用再清洗的。
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